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荷蘭半導體設備管制生效前 美橫刀攔截ASML出貨DUV給中企

荷蘭半導體製造設備供應商艾司摩爾(ASML)的裝配工程師正處理一台深紫外光微影設備。(路透)
荷蘭半導體製造設備供應商艾司摩爾(ASML)的裝配工程師正處理一台深紫外光微影設備。(路透)

彭博資訊報導,在荷蘭限制高階晶片製造設備出口的新禁令1月全面生效之前,荷蘭半導體製造設備供應商艾司摩爾(ASML)已應美國總統拜登政府的要求,取消部分設備出貨中國。

根據ASML官網聲明,荷蘭政府撤消了NXT:2050i和NXT:2100i的部分出貨許可,影響到少數中國客戶。該公司認為此事不致影響財務前景。  

知情人士說,ASML本已取得向中企出口三台頂級深紫外光微影設備(DUV)的許可,但美國官員與ASML進行接觸,要求他們立即停止發貨。

拜登正嚴堵中國發展自己先進半導體產業,與盟國合作阻止中國獲進口技術。華為去年推出一款智慧手機,根據彭博報導,採用ASML浸潤式微影設備製造的頂級晶片,可與蘋果iPhone媲美。

根據知情人士,美國國安顧問沙利文去年底曾就此事致電荷蘭政府,荷蘭官員要美國直接聯繫ASML,商討這些浸潤式DUV的發貨事宜。在美國提出要求後,數量有限、單價可達數千萬美元的機器被取消發貨,但還不清楚到底涉及多少台機器。

美國對ASML施壓始於2019年,當時川普領導的政府促使荷蘭政府頒禁令,不准向中國銷售ASML的頂級極紫外光微影設備(EUV)。ASML是全球唯一一家生產這種技術的公司。

隨後,在拜登政府的推動下,荷蘭去年進一步加強了對中國的出口管制,1月1日起限制ASML提供的第二大先進產品系列DUV機器的出口。中國一直在加緊儲備這些設備。

中國海關數據顯示,7至11月間,中國進口的微影設備激增五倍多,達到37億美元。由於中企趕在出口管制生效前進口ASML機器,第3季中國幾占ASML的近半銷售額,比率遠高於前一季的24%,再前一季是8%。

ASML即將離任的執行長溫彼得(Peter Wennink)10月告訴投資人,新的限制措施將影響該公司多達15%在中國的銷售額。溫彼得公開反對這些措施,並警告,這些措施可能激勵中國開發競爭性技術:「你給他們施加的壓力愈大,他們就愈可能加倍努力。」

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