美荷對中國晶片業再出連環拳 這回可能擴及新舊款DUV

美國和荷蘭今夏準備對中國晶片製造商使出「連環拳」，進一步限制對中銷售晶片製造設備，而美國甚至可能阻止把用於成熟製程、較舊型的DUV深紫外光微影設備賣給包括中芯在內的六座晶圓廠。這是美、荷持續努力，防範本國技術被用於強化中國軍方實力的措施一環。

路透報導，雖然荷蘭計劃限制半導體設備製造龍頭艾司摩爾（ASML）等業者將特定設備賣給中國，但美國預期會進一步利用其長遠的影響力，讓特定中國晶圓業者無法取得更多的荷蘭半導體設備。

美國已在去年10月實施出口禁令，以國安為由，限制科林研發、應用材料等美國設備廠把美國晶片製造工具賣給中國，並且遊說其他擁有重要供應商的國家採取類似措施。

中國駐美大使館發言人劉鵬宇痛批此舉，直指美國是「蓄意封殺、束縛中企，強迫產業遷移並推動脫鉤」，他說，中國將「密切關注情勢發展並堅決捍衛自身利益」。

日本也將從7月23日起限制23種半導體製造設備的出口。日本擁有Nikon、東京威力科創等晶片設備製造商。

荷蘭政府計劃在周五（30日）宣布新規定，要求ASML頂規的DUV設備出口需取得許可證。至於ASML最精密的機台EUV極紫外光微影設備早已受到限制，已經不再出口至中國。

ASML在3月時表示，預期這項荷蘭規定將影響該公司TWINSCAN NXT：2000i與更多精密的機台。

不過，ASML較舊型的DUV機台，像是 TWINSCAN NXT：1980Di，也可能遭美限制出口給六家中國業者。根據知情人士透露，預料在美國新的規定中，將允許美國把對外國設備的限制範圍涵蓋至甚至只擁有很小比率的美國零件的設備。

消息人士說，荷蘭新的規定將不會立即生效，一名人士說，預期9月才會生效。

至於美國計劃中的新規定，消息人士透露，可能會在7月底公布，將要求要把設備出口給六座晶圓廠，包括一座由中國晶圓龍頭中芯集團營運的晶圓廠，必須先取得許可。但該名人士表示，對這些晶圓廠設備出口的許可申請可能會遭拒絕。

這套美國規定預期會適用於ASML，原因是其系統含有美國的零組件。

美國在核准法規之前修改計畫並不常見，因此上述時程與限制都可能調整。

消息人士說，預期美國也會在7月對去年10月頒布的規定進行更新調整。

路透說，除了ASML可能受荷蘭新規定影響外，包括薄膜沉積設備業者ASM International也會受影響，但其發言人不願對路透30日的報導置評。