科技戰升級 屹唐股份告美國應材竊密 索賠近1400萬美元

中國科創板上市公司、半導體設備龍頭屹唐股份發布公告，以非法竊取等離子體源及晶圓表面處理核心技術，並在中國境內以專利申請方式揭露為由，將美國應用材料公司（Applied Materials）告上北京智慧財產權法院，除了要求應材停止侵權行為，並賠償經濟損失9999萬（人民幣，下同，約1394萬美元）。該案件已於8月13日立案受理。

彭博報導，屹唐發布公告稱，公司因認為應用材料非法獲取並使用了公司的等離子體源，及晶圓表面處理相關的核心技術祕密，還在中國境內以申請專利的方式披露了技術祕密，且將這項專利申請權據為己有，因此向北京智慧財產權法院提告，提告金額為9999萬。

屹唐稱，利用高濃度、穩定均勻的等離子體進行晶圓表面處理是公司的關鍵技術之一，相關技術被廣泛應用於公司的乾法去膠、乾法蝕刻、表面處理及改性等半導體加工設備中。公司在該領域具備領先的原創性技術能力，並擁有相關技術祕密。

屹唐也提到，應用材料招聘了曾在屹唐半導體全資子公司Mattson Technology, Inc.（簡稱MTI公司）工作的兩名涉案員工，而他們了解關於等離子體的產生和處理方法的核心技術，熟悉和掌握相關設備結構以及技術工藝。

在MTI公司任職期間，這兩名員工均簽署了保密協定，對包括涉案技術祕密在內的技術資訊承擔嚴格的保密義務。

屹唐指出，證據顯示，應用材料招聘這兩名員工入職後，向中國國家智慧財產權局提交了一份發明專利申請，其中主要發明人即為前述兩名員工，專利申請披露了屹唐半導體與MTI公司共同所有的涉案技術祕密。

屹唐在公告中指出，被告非法獲取和使用原告的技術祕密，並在中國境內以申請專利的方式披露了這項技術祕密，將專利申請權據為己有，違反了「反不正當競爭法」的規定，構成侵犯商業祕密的行為，對屹唐的智慧財產權和經濟利益造成嚴重的損害。

每日經濟新聞以投資者身分致電屹唐半導體，公司董秘辦人士說，因為法院剛受理了公司的提告請求，開庭審理時間需要等法院進一步通知。

這名人士也說，簽署保密協定都是基本的，員工入職一般都要簽。「但如果這些員工想要做一些壞事的話，簽了保密協議也攔不住他們去做。」

晶片設備技術是中美長期科技戰的焦點之一。迄今為止，半導體製造設備領域仍由美國、荷蘭和日本主導。多年來，美國主導的行動，阻止陸企獲得荷蘭供應商ASML最先進的極紫外曝光系統，這類設備是製造最尖端晶片、用於開發人工智慧演算法所必需。如果沒有美國設備供應商，包括應用材料和泛林集團的支援，ASML的技術也無法在晶片製造工廠使用。

雖然屹唐的舉動可能被視為中國對美國的反擊，但2家公司先前就有糾紛。2022年，應用材料曾起訴MTI公司涉嫌企業間諜行為，MTI公司當時否認所有不當行為指控。

屹唐半導體成立於2015年底，主要從事積體電路製造過程中所需晶圓加工設備的研發、生產和銷售，面向全球積體電路製造廠商，提供包括乾法去膠設備、快速熱處理設備、乾法刻蝕設備在內的積體電路製造設備及配套工藝解決方案。公司於今年7月8日在上交所科創板上市。