晶圓清洗CO2吃緊 三星、SK海力士搶購

南韓消息傳出，清洗先進晶圓所需的高純度二氧化碳（CO2）供給吃緊。目前尚未影響三星電子和SK海力士生產，但兩家公司加價搶購，仍難以取得。業界估計，短缺情況可能持續到年底。

韓媒The Elec報導，知情人士透露，供給短缺尚未衝擊三星和SK海力士生產，但庫存緩衝持續減少。但縱使提高價碼，要取得額外供給仍日益困難。氣體供應商高層表示：「原料完全不夠，我們無法供給客戶所需數量。短期內沒有實際方式能提高產量」。

高純度CO2用於半導體清洗，液態CO2進入超臨界（supercritical）狀態時，會兼具液體和氣體特質，液態般的濃度能有效溶解晶圓殘留物與污染物，而氣態特質能深入線路細部，去除晶片結構深處的微粒。先進半導體的線路間距極窄、深寬比高，需要超臨界清洗。