彭博：美再關切EUV恐流入中國 ASML拋文件自清

知情人士透露，美國商務部長盧特尼克已在近來的一連串會議中，向荷蘭晶片設備巨擘艾司摩爾（ASML）主管表達關切，擔心ASML的極紫外光（EUV）微影設備可能已流入中國，違反美國主導的出口管制。ASML則否認這個說法。

彭博資訊報導，盧特尼克向ASML主管針對該公司的EUV微影設備表達關切，在一場涵蓋一系列議題（包括ASML在美投資承諾）的會議上，提出這個問題，但還不清楚引發盧特尼克質疑的具體原因，而盧特尼克和ASML執行長傅凱（Christophe Fouquet）在LinkedIn平台的貼文，都以正面措辭形容那場對話，未提及EUV的議題。

ASML則已反駁盧特尼克的說法，表示完全沒有任何一台EUV在中國。EUV尺寸相當於一輛校車、產量有限，且需要ASML員工持續維護，由於川普政府主導的出口管制，ASML不得出口EUV系統到中國。

ASML發言人表示，與各國政府都保持對話，且從未運送EUV機器到中國，「ASML定期與全球政府領導人進行透明且公開的對話」，「我們理解美國和荷蘭出口管制規範背後的國家安全考量，也全力承諾遵守所有相應規範」，ASML之前已「駁斥幾項關於不遵守對中國出口管制的毫無根據謠言，這些謠言既不準確，也損害我們的商譽」。

美國商務部未回應彭博資訊對此事的多次詢問，包括是否掌握表明中國確實有EUV機器的證據。荷蘭外交部說，荷蘭非常嚴肅對待在「半導體產業所扮演的獨特角色」所帶來的責任，「非常嚴格」執行對EUV工具和其他相關出口的管制，「總在必要時進行干預」。

不過，多位川普政府的資深官員認為，手上擁有ASML未展現誠意的證據，例如ASML向中國運送用於運輸EUV機器的特殊設備、及其他可用於EUV系統的零組件，但這些官員資訊和來源敏感性為由，拒絕彭博希望檢視出口證明的請求，也拒絕說明是否已掌握中國實際擁有EUV系統的證據，指稱證據太過敏感，無法揭露。

這些官員被問及若掌握證據、為何不實施更嚴格的政策或懲罰行動時，拒絕置評。

ASML已否認川普政府官員的說法，「ASML從未出貨EUV機器到中國，也沒有出貨任何專門設計用於EUV機器的零組件、模組或設備到中國」。

但川普政府資深官員的持續關切，已加劇ASML的壓力，若ASML依然無法平息華府的擔憂，可能使美國與歐盟本已坎坷的關係更加緊繃。目前還不清楚川普政府希望從ASML獲得的資訊或條件，ASML也試圖自清，但苦於不知如何證明不存在的事實、或是需要提供哪些資訊，才能讓中國EUV問題落幕。

知情人士透露，ASML私下已進入危機模式。該公司在4月與盧特尼克會面後，開始在華府建立並流傳一份題為「沒有任何ASML EUV系統在中國的跡象」的文件。

彭博檢視的這份文件指出，全球共有314台運作中的EUV機器，26台已除役，沒有任何一台在中國，而且ASML能自動偵測EUV產品組合的「任何中斷、異常行為或斷線」，且因為專門的操作程序，客戶「在沒有ASML參與的情況下，無法拆除、運輸和重新安置EUV系統」。

中國面臨的EUV工具出口管制，可能是該國AI晶片龍頭華為遭遇的最嚴苛限制，若EUV系統果真流入中國，將嚴重違反美國出口管制。華為的晶片事業主管最近則在一次罕見的英語演說中，宣揚該公司在沒有ASML EUV機器的情況下，製造晶片的創新成果。

荷蘭已限制ASML向中國銷售EUV機器、及某些型號的浸潤式深紫外光（DUV）微影設備。但在拜登政府時期，ASML在某些DUV管制正式生效前加速出貨這些設備，引發美方的挫折感。

川普政府資深官員也提到了這些先前合法出貨的DUV，指稱整體而言，擔心ASML優先考量短期獲利甚於國家安全。

ASML發言人表示：「任何聲稱ASML可能、或確實有意且願意違反荷蘭、美國或任何其他政府協議的說法，不僅在事實上不正確，也會嚴重誤導」，「ASML已根據出口管制的各種發展，調整事業營運，以遵守所有新規」。