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「中國刻蝕機之父」 中微尹志堯 要帶中國半導體突圍

60歲創業,中微半導體董事長尹志堯堅信,一旦華人自主發展積體電路領域,一定能達到世界最先進水平。(取材自微博)
60歲創業,中微半導體董事長尹志堯堅信,一旦華人自主發展積體電路領域,一定能達到世界最先進水平。(取材自微博)

美中貿易戰,中國在晶片製造技術被「卡脖子」(抓住要害)。晶片生產除了被「卡」在光刻機,其實,有很長一段時間,還有一個重要設備也「卡」住中國製造晶片,就是刻蝕機。

在製造晶片的所有設備中,光刻機的成本占比約為24%,刻蝕機的占比約為20%,是占比最高的兩個設備。

華商韜略報導,假如把晶片製造比作刻一個五角星形印章的話,那麼畫五角星的步驟,就相當於光刻機的工作;而把五角星周圍的材料用刀刻掉的過程,就是相當於刻蝕機的工作。

海歸創業 全員持股

全球刻蝕機生產幾乎被美、日兩國壟斷,中國也一直仰賴進口,中微半導體創始人尹志堯,60歲創業,僅用三年時間,便研發出中國第一代刻蝕機,成功打破國際巨頭的壟斷,也因此尹志堯有了「中國刻蝕機之父」美譽。

尹志堯是留美博士,畢業後在英特爾、應用材料等半導體巨頭企業工作。1984年第一天到英特爾上班時,他驚訝發現:公司從研究課題組長、經理,再到工程師,絕大部分都是華人。「華人對美國積體電路的發展,貢獻如此之大!」這讓他堅信,一旦華人自主發展積體電路領域,一定能達到世界最先進水平。

60歲在美商應用材料總公司副總裁的大位退休,尹志堯決定回中國創業。2004年他在上海創辦中微半導體,並堅持全員持股。

尹志堯認為,如果員工只有工資和獎金,那麼只要用高薪就可以輕易被挖角,為了不讓合作的員工成為未來的競爭對手,尹志堯創下全員持股的慣例,「每一個級別股票差20%,工資差10%,我稱之為中微的特色社會主義集體所有制。」

中微半導體成立18年來,先後投入人民幣20多億,推出從75奈米到5奈米製程的刻蝕機,尹志堯表示,中微自主研發的等離子刻蝕機,已應用於先進的積體電路加工和包裝封裝生產線。

其中,12英寸高端刻蝕設備已應用於國際知名客戶的最先進生產線和5奈米及以下設備的多個關鍵步驟。不但產品被台積電採用,還銷往韓國、新加坡、日本等國家。

中微半導體僅用三年時間,便研發出中國第一代刻蝕機;圖為工程師調試LED高端設備M...
中微半導體僅用三年時間,便研發出中國第一代刻蝕機;圖為工程師調試LED高端設備MOCVD。(中新社)

設備業績 高速增長

從半導體產業鏈看,2021年半導體材料行業(上游)業績爆發,中游的半導體設備業績增幅達114.49%,下游的晶片製造則有31.5%。

從中國半導體產業地位看,據SEMI報告,2021年全球半導體設備銷售額激增達人民幣1026億元。而中國晶圓廠積極擴產,半導體設備全球銷售額連續四年增長,銷售額連續兩年全球第一,2021年達到296億元,年增近六成,全球貢獻度近三成。

中金公司評估,在晶圓代工、存儲器等中國要國產替代的大趨勢下,晶圓廠商未來幾年都將維持高資本投入,這樣將驅動中國半導體設備市場規模保持高速增長。

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