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中半導體突破 12吋先進傳感器研發中試線成功通線

中國首條12英吋先進傳感器研發中試線,在上海嘉定成功通線。(取材自澎湃新聞)
中國首條12英吋先進傳感器研發中試線,在上海嘉定成功通線。(取材自澎湃新聞)

中國半導體自主研發再突破。繼全國首條8英寸MEMS(微電子機械系統)研發中試線落地上海嘉定工業區後,近日,由國家智能傳感器創新中心(簡稱創新中心)建設的首條12英寸先進傳感器研發中試線,也在嘉定成功通線。

澎湃新聞報導,創新中心相關負責人表示,隨著上海市加快推進城市數位化轉型,物聯感知網路越織越密,先進傳感器產業蓬勃發展。面向新興技術發展和市場應用需求,創新中心將在12英寸中試線持續開發新材料、新工藝、新器件等關鍵共性技術,重點突破光學、聲學、力學等先進傳感器的核心工藝,並推動相關產品及應用的產業化。未來,將重點搭建共性技術平台,專注於先進傳感器特色工藝研發和中試。

目前,創新中心已聯合中國傳感器與物聯網產業聯盟的1000多家企業開展共性技術研發,形成的「產、學、研、用」協同創新機制,將加速中國國內先進傳感器及相關應用的核心技術發展,推動智慧傳感、物聯網、人工智慧的生態體系建設。

矽晶圓一旦沾染微塵,就可能失效,因此中試線必須在無塵室下作業,而這種高標準廠房的建設要求極高,其中,最為嚴苛的是十級潔淨室,即一分鐘內每立方英尺的空間內大於0.2微米的微塵必須少於10顆,為此,嘉定區相關部門第一時間為該項目尋找合適的廠房,並跟蹤服務整個項目進程。

嘉定區科委主任謝東升表示,加快建設中國國內首條12英寸先進傳感器中試線,有利於打造一個集研發、工程、市場、孵化的一體化功能平台,推進區域內產、學、研、用的協同發展。以研發中試線為支點,可以撬動更多創新企業和高層次人才團隊來到嘉定,開展產品技術研發,透過整合區內產業孵化器、產業基金等資源,助力嘉定打造千億級智慧傳感器及物聯網產業。

今年1到5月,嘉定區智慧傳感器及物聯網產業總產出人民幣99.6億元(約15.38億美元)。目前,嘉定區內已集聚智慧傳感器及物聯網企業超過200家,初步覆蓋產業鏈上中下游各環節,擁有國家機體電路材料技術創新中心等7個公共服務性平台以及2個積體電路基金。

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